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水刀激光切割芯片的污染問題

發(fā)布者:實(shí)遠(yuǎn)    時間:2016-3-14

      實(shí)際上,在所有傳統(tǒng)的切割工藝?yán)铮⒘5漠a(chǎn)生和再沉積是一個很嚴(yán)重的問題。微粒和塵埃(大小在0.1到5um)在加工過程時,布滿了整個加工件的表面,特別是基于激光技術(shù)的工藝,細(xì)小的微粒極難于清除,而且具有很強(qiáng)的吸附力(如毛細(xì)作用、靜電力和范德瓦耳斯力),難于擦除或用水清除。另外,傳統(tǒng)的激光切割時,材料熔化的小液滴會“焊”到加工件的表面上,更加難以去除。

      對于使用激光進(jìn)行的切割技術(shù),切割半導(dǎo)體是一個挑


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