水切割機(jī)高速激光晶圓劃片工藝的特點(diǎn)
發(fā)布者:實(shí)遠(yuǎn) 時(shí)間:2006-4-16
在劃片-裂片工藝中,PCM圖形必須設(shè)計(jì)有直通式劃片槽。金剛石劃片工藝不能通過(guò)PCM圖形進(jìn)行連續(xù)劃片。因而PCM圖形必須設(shè)計(jì)有劃片槽。這就帶來(lái)了PCM圖形測(cè)試的問(wèn)題。但是,對(duì)于激光劃片工藝,PCM圖形設(shè)計(jì)已不再是一個(gè)問(wèn)題了。PCM圖形可以設(shè)計(jì)成有助于當(dāng)前正在完成的測(cè)試項(xiàng)目,而不是有助于裂片方法的要求。即使沒(méi)有劃片槽,激光劃片工藝也不會(huì)中斷。
采用傳統(tǒng)方法裂片時(shí),劃片槽上不能有藍(lán)膜或金屬殘留。采用鋸片切割工藝時(shí),